Beständeübersicht
Archivale im Bestand
11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden
| Archivaliensignatur | 0560 |
|---|---|
| Datierung | 1976 |
| Bestellen als | Sächsisches Staatsarchiv, 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden, Nr. 0560 |
| Benutzung im | Hauptstaatsarchiv Dresden |
Wissenschaftlich-technische Berichte
| Enthält u.a.: | Optimierung Betriebsmittel und Verfahren.- Abstandsbelichten in der Fotolithografie.- Plasmachemisches Ätzen.- Prozeßoptimierung.- Ionenimplantation.- Statische und dynamische Analyse von 12 L-Strukturen. |
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Gliederung des Bestandes:
