Beständeübersicht
Archivale im Bestand
11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden
| Archivaliensignatur | 1220 |
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| Datierung | 1981 - 1991 |
| Bestellen als | Sächsisches Staatsarchiv, 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden, Nr. 1220 |
| Benutzung im | Hauptstaatsarchiv Dresden |
Patentakten
| Enthält: | Patent über ein Verfahren zur Herstellung einer hochintegrierten Halbleiteranordnung mit komplementärer Schaltungsstruktur.- Patent über ein Verfahren zur Endpunktbestimmung beim Ätzen von Silizium.- Patent über ein Verfahren zur Endpunktbestimmung beim Plasmaätzen.- Patent über eine Schaltungsanordnung zur Zusammenfassung von Defektsignalen bei der Laserfleckabtastung. |
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Gliederung des Bestandes:
