Beständeübersicht
Archivale im Bestand
11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden
| Archivaliensignatur | 0191 |
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| Datierung | 1971 - 1973 |
| Bestellen als | Sächsisches Staatsarchiv, 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden, Nr. 0191 |
| Benutzung im | Hauptstaatsarchiv Dresden |
Veröffentlichungen und Vorträge
| Enthält u.a.: | Übersichten.- Mitteilungen.- Schriftwechsel mit wissenschaftlichen Einrichtungen.- Vortragsthemen.- Redemanuskripte.- Pläne über die Teilnahme an naturwissenschaftlich-technischen Veranstaltungen im Ausland.- Einladungen.- Vorträge: Einsatz von Teststrukturen bei der FKS Fertigung, Probleme der Fotolithografie kleinster Bauelementestrukturen, Bestimmung der Eindringtiefe von Dotanten in Siliziumdioxidschichten auf Silizium und Erfahrungen beim Einsatz eines Elektronenstrahlbildgenerators. |
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Gliederung des Bestandes:
